构造紧凑、高功率,以及高光束品质的偏振镭射器在诸如微加工跟高效谐波出产等产业跟研讨领域的利用需求正一直增长。经由过程对于晶体外形、冷却机制及谐振器设计等因素的优化组合,相似InnoSlab 镭射器跟缩小器之类的镭射器产物浮现出以下长处:短脉宽、顶峰值功率、高脉冲反复率跟高均匀功率下的高光束品质。同时,他们还能够为光束外形提供高度的机动性,从圆形光束, 到线形一维跟二维平顶光束,再到矩形光束等等,从而为门类普遍的特别利用提供附加代价。
短脉冲镭射器
为了以低本钱完成高光束品质以及高输出功率,人们提出了一种翻新的板条镭射器概念(InnoSlab)(图1)。半导体(二极管)经由过程谐振腔腔镜与它们的线型光束外形进行耦合。

图1:端面泵浦板条跟带混杂谐振器的电光调Q的InnoSlab 镭射器的示用意。
而后,一块板条状的有源晶振经由过程二极管与一块经由过程两侧大名义进行传导冷却的薄晶体进行部分泵浦,从而使垂直于镭射束方向的热流坚持一维。这能够失去可控的热柱面透镜,而且不会产生去极化跟相位变形等惟妙惟肖象。
在该配置中,调Q脉冲由一家偏光器跟一家普克尔盒(Pockels cell)天生。镭射束屡次穿过谐振器,而且能够在光腔镜的边沿上解耦,这与传统的板条式CO2 镭射器有些类似。
图2: 电光调Q 的InnoSlab 镭射器的定做光束外形。
整个谐振器短于10cm,从而使脉宽低于10ns,而且取得顶峰值功率。 别的,光束外形能够等闲变换,从圆形高斯, 到线型一维或二维平顶光束,定做的光束外形是理想的产业利用解决方案的根底(图2)。
调Q的InnoSlab镭射器的参数包含:
◆脉冲能量达50mJ
◆光束品质M2 <1.3
◆脉冲宽度至4ns
◆峰值功率达6MW
◆脉冲反复频次达100kHz
◆均匀功率达600W
◆ 可提供的波长为1064nm,532nm,355nm跟266nm
超短脉冲镭射器
使用雷同的泵浦方案、板条几何外形跟光腔镜设置,能够取得优异的多通道缩小器(图3)。InnoSlab镭射缩小器的上风包含其很大的缩小系数、高效力的功率跟能量提取、功率跟能量的可进级性,以及收获属性的保存(光束品质,脉冲宽度等)。 这才使得超短脉冲能完成千瓦功率以及多毫焦耳的能量。

图3:InnoSlab 镭射缩小器的示用意
基于InnoSlab镭射缩小器的概念,引入了不同型号的超短脉冲镭射器,其相干参数如下:
◆光束品质M2<1.3
◆脉冲能量达2000μJ
◆脉宽至600fs
◆峰值功率达200MW
◆脉冲反复率达100MHz
◆均匀功率达400W
◆可提供的波长:1064nm,532nm,355nm跟266nm
产业利用示例
亚名义雕琢。经由过程将短脉冲镭射束聚焦到玻璃块中,脉冲能量在聚焦区被很大水平地排汇,从而引发资料的融化跟蒸发。因为与融化跟蒸发相干的机器应力,在玻璃中发生了巨细为100μm的裂纹,并被肉眼辨认为标志点。用这种方式,能够完成logo跟牌号的亚名义打标。
图4:经由过程在玻璃中进行精细钻孔,能够失去与深度有关的横截面的钻孔(所示的孔用黑白液体添补以添加可视性)。
玻璃钻孔。图4显示了经由过程正向溶解方式加工玻璃的原理跟可能性。 与亚名义雕琢相比,在玻璃切割跟钻孔时,焦点在于底部名义。以这种方式,可以完成高精度、可反复跟高速的玻璃加工。 经由过程使用频次为100kHz的调Q型InnoSlab镭射器,能够完成的体积溶解率>1.5mm3/s。该工艺已被用在淋浴器的玻璃板、玻璃盖板以及太阳能光电板上的打仗孔等钻孔利用领域。
切割跟研磨玻璃。 使用高功率皮秒镭射器并联合逐层溶解工艺可以完成玻璃或蓝宝石片的整体切割。 使用250W 的皮秒镭射器能够完成高达2mm3/s的体积烧蚀率(图5)。
图5:采纳皮秒镭射器进行逐层溶解加工,用在切割跟研磨蓝宝石,显示的是经由过程功率(a)的体积烧蚀率跟蓝宝石表盖(b)的示例。
切割通明跟脆性资料。 一品种似于亚名义雕琢的工艺可用在别离通明跟脆性资料,如玻璃跟蓝宝石。 该法子也称为丝状切割,普遍利用于蓝宝石跟玻璃板的别离。蓝宝石或玻璃板的典范厚度<0.7mm。 切割边沿品质高,裂纹低于5μm。切割速率可达几米/秒。
压花圆柱雕琢。新型高功率超短脉冲镭射光源的涌现,推进了使用皮秒镭射器对于大尺寸金属名义进行压花跟印刷等3D微构造化利用的
开展。
论断
InnoSlab镭射器跟缩小器联合二极管泵浦,晶体外形,散热跟谐振器设计,浮现出以下极具上风的特性:短脉宽、顶峰值输出功率、高脉冲反复率,高均匀功率下的高光束品质跟光束外形的机动性。
基于此设计,存在可量身定制跟增值功用的短脉冲跟超短脉冲镭射器可被用在各类奇特的利用,例如通明脆性资料的加工,微构造的打造以及压花圆柱体的雕琢等等。